B1.屬于潔凈度分級與常規檢測的空氣懸浮粒子計數
B1.1 原理
本檢測方法對如何測量閾值粒徑0.1µm-5µm的空氣懸浮粒子濃度作出規定.測量可在空態/靜態和動態所有3種狀態下進行.本方法用于設施符合GB/T 25915—2010規定潔凈度的認證或驗證,或用于GB/T 25915.2—2010規定的定期復檢.B.1給出的方法源自IEST-G-CC1001:1999。
B1.2 檢測規程
采樣點數量,采樣點位置的選擇,潔凈區級別的判定,所需數據的量,所有這些都要符合GB/T25915.1—2010的規定。B.1給出的是在每個采樣點進行空氣采樣的基準方法。若供需雙方另有協議,也可采用其他具有同樣準確度并給出等效數據的方法。若無一致同意的其他方法或出現爭議,則應使用本附錄給出的基準方法。
B1.2.2 空氣懸浮粒子計數規程
將離散
粒子計數器的采樣頭放在預定位置,設定計數器的流量,選擇符合BG/T 25915.1—2010規定的粒徑閥值。在單向流區域,所選擇的采樣探頭應接近等動力采樣,進入采樣探頭的風速與被采空氣的風速偏差不應超過20%。若無法做到這一點,將采樣口正對氣流的主方向。在風速不受控或不可預測(例如非單向流)的采樣點,采樣口應豎直向上。采樣口至粒子計數器傳感器的連接管應盡量短。采樣粒子大于或等于1µm時,連接管的長度和直徑不應超過制造商的建議值。
采樣過程中,因擴散造成的小粒子損失、因沉降與撞擊造成的大粒子損失所產生的采樣誤差不應大于5%。
B1.3 空氣懸浮粒子計數器
如C.1的介紹,離散粒子計數器(DPC)應能夠對空氣中的粒子進行計數、計徑,其粒徑辨別率應滿足待測設施的潔凈度判定要求。粒子計數器應能對規定粒徑范圍的粒子進行計數,并顯示或記錄,所用粒子計數器具有有效的校準證書。
B1.4 檢測報告
根據供需雙方的協議,對于設施潔凈度分級或常規檢測,第5章規定的檢測報告及下述信息和數據應記錄在案:
a) 離散粒子計數器的偽計數率;
b) 測量類型:潔凈度分組還是監測;
c) 設施的潔凈度級別;
d) 粒徑范圍和計數;
e) 離散粒子計數器采樣口的采樣流量,通過光敏區的流量;
f) 采樣點位置;
g) 檢測潔凈度等級的采樣協議,或監測用采樣計劃;
h) 占用狀態;
i) 與測量有關的其他數據。